羅茨式真空泵，也稱為羅茨鼓風(fēng)機，是一種正排量泵，其工作原理是通過一對類似齒輪的旋轉(zhuǎn)葉片捕獲和輸送氣體，而無需內(nèi)部壓縮。當葉片旋轉(zhuǎn)時，它們會產(chǎn)生連續(xù)的氣體流，從而在相對較低的壓力下實現(xiàn)高泵送速度。由于其設(shè)計簡單，能夠?qū)崿F(xiàn)低至10^-3毫巴的真空度，羅茨式真空泵廣泛應(yīng)用于工業(yè)應(yīng)用，包括化學(xué)加工、冶金和半導(dǎo)體制造。